半導體行業廢氣處理
半導(dǎo)體行業(yè)廢(fèi)氣主要指的是電解質、矽、金屬、化學物質和有機物質等的廢氣(qì)。半導體工藝廢氣中的電解質廢氣主要來(lái)源於表(biǎo)麵處理過程(chéng)的清洗工序(xù),而矽、金屬(shǔ)和化學物質(zhì)廢氣主要來源(yuán)於製造工藝中的燒結、熔體澆注、清洗、蒸鍍和(hé)磷化等工序。有(yǒu)機物質廢氣主要來源於製造過程中(zhōng)使用的(de)有機溶劑和有機物質的燃燒反應。
半導體廢氣處理方法(fǎ)
目(mù)前(qián),半導體行業有機廢氣處理方法主要以下幾種方法(fǎ):1、活性炭吸(xī)附法;2、燃(rán)燒法;3、化學(xué)法。酸堿性廢氣可以選用洗滌塔、噴淋塔(tǎ)、吸收塔(tǎ)。
活性炭吸附是(shì)利用活性炭的(de)吸(xī)附性質,通過接觸吸附,使廢氣中的有害物質與活性炭表麵(miàn)結合,從而達(dá)到(dào)淨化廢氣的(de)目的(de)。燃燒法是將廢氣中的有害物質通過燃燒的方式銷毀,減少對環境(jìng)的汙染。化學吸收是利用吸收劑的吸收性質(zhì),使(shǐ)廢(fèi)氣中的有害物質(zhì)與吸收劑發生化學反應或物理反應,使其轉化為無害物質,從而淨化廢(fèi)氣。
目前(qián),半導體行業廢氣排放(fàng)標準不同(tóng)步,我國半(bàn)導體行業廢氣排放標準主要(yào)以《半導體工業大氣汙染物排放標準》為主,但是這個標準的主要適(shì)用對象是生(shēng)產芯片的企業,而且許多地區都有自己的排放標準,所以最終需要參考當地環保要求。
隨著半導體行業的不斷進步,半導(dǎo)體行業的廢氣處理技術也在不斷(duàn)發展。根據不同的工藝流程,廢氣處理設備也會有所不同,不僅(jǐn)可以滿足環保排放標準,還能(néng)大大降低企業處理成本。