半導體行業廢氣處理
半導（dǎo）體行業（yè）廢（fèi）氣主要指的是電解質、矽、金屬、化學物質和有機物質等的廢氣（qì）。半導體工藝廢氣中的電解質廢氣主要來（lái）源於表（biǎo）麵處理過程（chéng）的清洗工序（xù），而矽、金屬（shǔ）和化學物質（zhì）廢氣主要來源（yuán）於製造工藝中的燒結、熔體澆注、清洗、蒸鍍和（hé）磷化等工序。有（yǒu）機物質廢氣主要來源於製造過程中（zhōng）使用的（de）有機溶劑和有機物質的燃燒反應。
半導體廢氣處理方法（fǎ）
目（mù）前（qián），半導體行業有機廢氣處理方法主要以下幾種方法（fǎ）：1、活性炭吸（xī）附法；2、燃（rán）燒法；3、化學（xué）法。酸堿性廢氣可以選用洗滌塔、噴淋塔（tǎ）、吸收塔（tǎ）。
活性炭吸附是（shì）利用活性炭的（de）吸（xī）附性質，通過接觸吸附，使廢氣中的有害物質與活性炭表麵（miàn）結合，從而達（dá）到（dào）淨化廢氣的（de）目的（de）。燃燒法是將廢氣中的有害物質通過燃燒的方式銷毀，減少對環境（jìng）的汙染。化學吸收是利用吸收劑的吸收性質（zhì），使（shǐ）廢（fèi）氣中的有害物質（zhì）與吸收劑發生化學反應或物理反應，使其轉化為無害物質，從而淨化廢（fèi）氣。
目前（qián），半導體行業廢氣排放（fàng）標準不同（tóng）步，我國半（bàn）導體行業廢氣排放標準主要（yào）以《半導體工業大氣汙染物排放標準》為主，但是這個標準的主要適（shì）用對象是生（shēng）產芯片的企業，而且許多地區都有自己的排放標準，所以最終需要參考當地環保要求。
隨著半導體行業的不斷進步，半導（dǎo）體行業的廢氣處理技術也在不斷（duàn）發展。根據不同的工藝流程，廢氣處理設備也會有所不同，不僅（jǐn）可以滿足環保排放標準，還能（néng）大大降低企業處理成本。
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