電子廠廢氣處理方法——低溫等離子技術

電（diàn）子廠涉及到的行（háng）業很（hěn）多，不同行業在工藝（yì）上有一定差異，產生（shēng）的廢氣種類也有一定的差異，今天（tiān）就從（cóng）半導體（tǐ）行業入手為（wéi）大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣的處理主要針對半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嚐試使用低溫等離子廢（fèi）氣處（chù）理技術。半導體行業（yè）產生的有機廢氣，主要可以分為，半導（dǎo）體製造工藝產生的有機廢氣，和半導體封裝工藝產生的有機廢氣。

1、廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法

現在，半導（dǎo）體（tǐ）製造過程中（zhōng）排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒（shāo）、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。

2、針對電子廠廢氣處理半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治（zhì）理，低溫等離子（zǐ）廢氣處理技術（shù）的淨化原理（lǐ）是：

將普通的220V/380V交流電通過變（biàn）壓器，變頻器（qì）轉換（huàn）為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓（yā），釋放出高能電子，高（gāo）能電子破壞有機廢氣中的氣體（tǐ）分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產（chǎn）生了各種碳原子、氧（yǎng）原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等（děng）離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳（tàn），氧原子和（hé）氫原子結合形成水分子，最終產生排放到大氣中的氣體為無汙染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術具有以下優點：

• 放電（diàn）產生的低溫等離子體（tǐ）中，電子能量高，幾（jǐ）乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
• 反（fǎn）應快，不受氣速（sù）限製。
• 采用防腐蝕材料。
• 隻需用電，操作極為簡（jiǎn）單。
• 設備啟動、停止十分迅速，隨（suí）用隨開，常（cháng）溫（wēn）常壓下即能使用。
• 氣阻小，適用於大風量的廢（fèi）氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離（lí）子（zǐ）廢氣處理技術應用領域（yù）：集（jí）成電路生產企業、分立器件生產企業、光電組件生產企業。

5、半導體企業廢（fèi）氣排（pái）放特征分析

半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的（de）特點。

6、半導體行業有機廢氣和毒氣（qì）的來源

• 半導體製造工藝產生的揮發（fā）性有機廢氣，主要（yào）來源於光（guāng）刻、顯（xiǎn）影、刻蝕及擴（kuò）散等工（gōng）序
• 與（yǔ）半導體製造工藝相比，半導體封裝（zhuāng）工藝產（chǎn）生（shēng）的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘（zhān）貼、封膠後烘烤過程（chéng）產生的烘烤廢氣。
• 含毒氣性廢氣，其（qí）來源為化學氣相沉積、幹蝕刻機、擴散、離子布值（zhí）機及磊（lěi）晶等製程時所產生。主要成分是磷化氫等。

電子廠廢氣處理半導體低溫等離子技術，在實際設計中，需（xū）要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。今天就為大家介（jiè）紹到這裏了，如果您想要了解詳細（xì）的設計方案，可（kě）以打電話向我們谘（zī）詢：17306171723。